美國ALICAT MC多氣體質量流量控制器

alicat MC氣體質量流量控制器

控制響應最快、最穩定的質量流量控制器，可測量并控制低至2.5微升的流量，依照用戶應用需求量身定制閥門孔徑以確保達到最佳工作效果。

MC & MCR系列質量流量控制器參數 0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 3000 slpm 滿量程

1. 數字信號輸出質量流量、體積流量、壓力和溫度。 2. 模擬信號&第二道模擬信號(選配)輸出質量流量、體積流量、壓力或溫度。 3. 若選擇 PROFIBUS，則無模擬信號。關于 PROFIBUS 設備供電電壓與電流 ， PROFIBUS 和 Modbus 設備無屏幕顯示。 氣體選擇(Gas Select?)5.0 版預置 98 種常用氣體: 參見下頁完整氣體列表。 若您的氣體不在標準列表中，請聯系我們，艾里卡特®可訂制多達八種氣體成份的復雜混合氣體。 若為腐蝕性氣體或制冷劑，請參見 MCS 系列質量流量控制器。

精度(調零后標準條件下) ：± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)

典型響應時間 100 毫秒(可調整典型響應時間 100 毫秒(可調整）

如何訂購：

請提供氣體種類，流量范圍，接液材質，接口尺寸，輸出形式，壓力范圍？