Alicat MS 系列數字式質量流量計

MS/MCS 系列質量流量計&質量流量控制器的核心部件是 Alicat 的層流壓差技術，確保在大流量情況仍然是線性流動，從而 補償了工藝溫度和壓力變化對質量流量及體積流量產生的影響。

所有 Alicat 質量流量計&質量流量控制器均具有 NIST 可溯源校準 證書。Alicat 提供全方位的用戶支持，包括技術咨詢、快捷的設備 校準服務和有條件的終身質保。 MS/MCS 系列質量流量計/質量流量控制器采用全不銹鋼結構及彈性密封材料，內置 130/128 種標準氣體供 選擇。集成式多功能數字顯示屏允許用戶通過顯示屏按鈕操作便可進行氣體切換、設定值輸入及 PID 閥門 調節。MS/MCS 系列設備支持標準的模擬通訊和 RS-232 數字通訊模式，

另有各類定制化選項供特殊項目 需求，如：用于危險環境的 ATEX(歐洲)1 類 2 區和 CSA(美國)1 類 2 區認證產品等。另有便攜式(MBS 系 列)質量流量計可選。 產品應用 Alicat 的 MS/MCS 系列數字式質量流量計/質量流量控制器為腐蝕性過程氣體應用的首選，如：半導體行業 等。多變量測量與控制、多種氣體標定以及 100:1 量程可調比使得僅用單臺 MS/MCS 系列質量流量控制器 便可取代多臺設備的功效。最高可達 0.4%的精度、0.2%重復性及不到 100 毫秒的控制響應時間最大程度優 化了氣體控制過程。 MS/MCS 質量流量計&質量流量控制器可測量與控制從 0-0.5 sccm 到 0-3000 slpm 的滿量程的任何流量

MCS & MCRS 系列質量流量控制器參數 0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 3000 slpm 滿量程 艾里卡特®MCS & MCRS 系列專用于某些腐蝕性氣體

滿量程質量流量控制器 滿量程壓損 (psid) 排氣到大氣中 機械尺寸 管道連接接口 1 MCS 0.5 sccm 至 50 sccm 1.0 4.4”H x 3.4”W x 1.1”D M-5 (10-32) 母(內螺紋) 2 MCS 100 sccm 至 500 sccm 1.0 4.6”H x 3.6”W x 1.1”D 1/8” NPT 母 MCS 1 slpm 1.5 MCS 2 slpm 3.0 MCS 5 slpm 2.0 MCS 10 slpm 5.5 MCS 20 slpm 20.0 MCRS 50 slpm 2.0 5.7”H x 7.7”W x 2.3”D 1/4” NPT 母 MCRS 100 slpm 3.2 MCRS 250 slpm 2.4 6.0”H x 7.7”W x 2.3”D 1/2” NPT 母 MCRS 500 slpm 6.5 6.0”H x 7.3”W x 2.3”D 3/4” NPT 母 (2000SLPM 可選配 1-1/4” NPT 母) MCRS 1000 slpm 14.0 MCRS 1500 slpm 17.0 MCRS 2000 slpm 28.6 6.0”H x 8.1”W x 2.9”D MCRS 3000 slpm 16.8 6.0”H x 8.9”W x 2.9”D 1-1/4” NPT 母