SEC-Z500X多量程/多氣體數字質量流量控制器

• 高精度 ±1.0% 設定點
  該質量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償，并實現在流量控制范圍內的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標定數據由 HORIBA STEC 公司的標準氣體測量系統測量。
• 高速響應
  裝配“可變 PID 系統”，可在任意兩個設定點之間實現 1 秒響應。可變 PID 根據流量點設置不斷變化。在滿量程流量和氣體發生變化時優化 PID 系數。
• 多氣體/多量程解決方案
  配置軟件可以快速方便地更改規格。一個重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除質量流量控制器，即可進行更改。減少了所需的備用質量流量控制器的數量，節省時間和成本。

SEC-Z500X 質量流量控制器適用于各種應用以及半導體制造。