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測量技術(shù)
注入方式
以下是汽化液體源并將其輸送到處理室的主要步驟。
1. 測量液體源的流量，并通過閥門反饋和控制液體量。
2. 液體瞬間汽化。
3. 氣體被釋放，防止凝結(jié)成液態(tài)。
由于載氣在注入器內(nèi)部噴嘴前的壓力較高，因此可以獲得有效加熱。液體源和加熱的載氣在噴嘴前的氣液混合區(qū)混合在一起，當混合物通過噴嘴時，壓力降低，混合物進而汽化。
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