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IR-400用于腔室清洗終點(diǎn)監(jiān)測(cè)的高級(jí)氣體監(jiān)測(cè)儀

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所屬分類：HORIBA堀場(chǎng)流量計(jì)
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IR-400 可在沉積過(guò)程中實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)腔室清洗終點(diǎn)。通過(guò)優(yōu)化清洗過(guò)程，IR-400 減少了清洗時(shí)間和氣體用量。清洗氣體用量減少會(huì)降低對(duì)腔室的損害，并增加所有系統(tǒng)部件的壽命
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